采用X射線聚光系統，適用于微小樣品的鍍層測量及RoHS分析

MAXXI6的X射線發生系統是X射線聚光系統（聚光導管）與X射線源相結合，產生束斑直徑為Φ0.1mm以下高強度的X射線束，與不采用此技術時相比能得到10倍以上的強度。所以MAXXI6可以對以往由于X射線照射強度不足而導致無法得到理想精度的導線架、接插頭、柔性線路板等微小零件及薄膜進行測量。同時，采用了高計數率、高分辨率的半導體檢測器（無需液氮），在測量鍍膜厚度的同時，對于歐盟的RoH&ELV法規所限制的有害元素的分析測量也十分有效。